橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號：DP-TPY-1

在近代科學的許多域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此，更加和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數，如：布儒斯角法測介質膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、精度、非破壞性測量等優點，因而，橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、醫學等諸多域得到廣泛應用。

產品點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度、靈敏度以及方便測量等點；

光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度；

儀器配有生成表、查表以及計算等軟件，方便用戶使用。

規格與主要指標：

測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；      折射率范圍：1-10

測量Z小示值：≤1nm                      入射光波長：632.8nm  

光學中心：80mm                         允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm    

偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°

測量膜厚和折射率重復性精度分別為：±1nm和±0.01

主機重量：25kg    入射角連續調節范圍：20°- 90°精度為0.05°

成套性：主機、電控系統、計算軟件

外形尺寸：680*390*320mm