雙電測數字式四探針測試儀/雙電測四探針檢測儀 型號:DP-2263 概述 DP-2263型雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,行兩次電測量,對數據行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提度,別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。 儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。 主機主要由恒流源、分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤和數碼開關輸入;具有零位、滿度自校功能;測試功能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作成,也可脫PC機由四探針儀器面板上立操作成。測試結果數據由主機數碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印! 探頭選配:根據不同材料性需要,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻行測量。 測試臺選配:般四探針法測試電阻率/方阻配DP-A或DP-B或DP-C或DP-F型測試臺。 詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的點與選型參考》 儀器具有測量精度、靈敏度、穩定性好、 化程度、測量簡便、結構緊湊、使用方便等點。 儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。 三、基本參數 3.1 測量范圍 電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm 方 阻:5×10-4~1×106 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□ 電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω 3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式決定) 直 徑:DP-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限 DP-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限. 長()度:測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限. 測量方位: 軸向、徑向均可 量程劃分及誤差等 滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 常規量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | 基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±1.0%FSB ±4LSB |
四探針探頭(選配其或加配全部) (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調 (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調 3.6 電源 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W 3.7 外形尺寸: 主機 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm() |